其量测原理为利用探针（大部份尾端有一颗红宝石球）去碰撞工件的边缘，取得该位置的坐标值，再减去测头的半径即为工件的实际坐标值。一般量测仪的三轴都有安装光学尺，当测头接触到工件时，会送出讯号以撷取目标坐标值，再经由量测软体运算处理，便可计算出我们要的坐标值或尺寸，所以您只要依照量测位置去取点便能得到量测数据。

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